真空炉是在封闭的  炉体内形成负压的真空环境，炉体内装满热水。加热或其他加热热水的方式，然后将热水中的热量蒸发——冷凝到换热器，再由换热器加热需要加热的水。真空炉是通过抽真空形成几乎没有空气的低压环境，然后利用水在低温下产生低压（低于大气压）蒸汽，利用蒸汽冷凝传热的方式产生热量输出原理。真空炉内的热介质  是经过脱氧、除垢等特殊处理的高纯水。出厂时填写完毕。使用时在机组内密闭（汽化→冷凝→汽化），不增加，使用寿命无需增加或更换。   真空系统 真空热处理炉对真空系统的三个基本要求：

1）迅速将真空泵真空热处理炉达到规定的要求。

2) 可以及时处理工件和部件的各种气体在炉内释放，并因真空漏气进入炉内。

3）真空机组占地面积小，运行安全可靠，操作方便。

真空系统的组成

真空炉、真空系统真空热处理炉通常由真空设备（真空泵机组）、控制真空元件和测量真空元件组成。

1）泵组。根据炉膛压力和扫气量的大小，选择不同的高低真空泵、真空泵、真空泵和超高真空泵。

2) 真空元件或元件。在真空炉和真空泵机组中装有各种真空元件或真字元件，如管道、密封圈、法兰、波纹管、冷阱、过滤器和阀门等。

3）真空测量系统，如真空计、真空计等真空测量仪器。4) 真空检漏设备、真空控制仪表、气动装置等。

真空炉种类繁多，对真空系统的要求也不同。在真空度方面，有低真空、真空和高真空系统。下面介绍几种常用的真空系统。

1）、低真空系统低真空系统适用于真空热处理炉

2）～1333pa的真空度范围 ，如井式炉的低真空排水。大多数以旋转机械泵为主的油封式泵。

2、真空系统

适用于真空热处理炉3×10～1.333Pa范围内真空系统的真空度。真空系统在真空热处理炉中应用为广泛，它通常由两级真空泵机组组成。带旋转机械泵或阀式机械泵的主泵、带机械泵的主泵、罗茨泵）或油增压泵

3.高真空系统

高真空系统适用于真空度在6.6 X 10 ~ 6.6 X 10.Pa范围的真空热处理炉，如真空退火炉、 真空钎焊炉，通常由3个真空泵单元组成，主泵通常采用油扩散泵，油泵、主泵大多采用旋转机械泵或阀式机械泵。

随着工业的发展，真空炉的使用越来越广泛。真空炉在长期的施工过程中，会产生零件故障和损坏，导致机械运转能力下降。为保证真空炉的正常运行，延长使用寿命，对 真空炉运行 做以下分析：

一、按照PLC程序抽低真空：关闭所有真空阀，启动机械泵，直到运行正常（约1-2分钟），打开炉子到圆盘阀上的低真空阀，体抽低真空。

二、根据PLC程序抽高真空：打开下盘阀，扩散泵进行抽真空，当真空度达到15Pa后系统自动打开扩散泵预热，一般45分钟左右后扩散阀开始抽真空作用，可以关闭上盘阀，同时打开主截止阀使真空度达到1.33×10Pa以上，可以打开样品加热上的加热按钮。

此外， 真空炉操作 可以指导设备操作人员在设备的巡检现场职责范围内，根据设备的巡检周期，使用正确的巡检方法和工具进行日常维护；操作人员必须根据本维修手册认真填写《热处理设备日常维修记录》，由维修人员检查复核，维修人员收集存档。整套设备按技术要求安装后，无件且接地良好，可按以下项目进行调试验收。