真空炉是一种工业炉，可在炉内加压拉制。 那是在1930 年代左右。1927年，美国制成电工材料真空退火炉。1953年，真空自动电弧炉用于工业冶炼海绵钛。真空感应炉在 1950 年代广泛应用于工业。1960年，美国研制出油淬真空炉。真空炉分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空电弧炉、电子束炉（又称电子高炉）和等离子炉。真空炉采用  电加热方式加热。工件表面未氧化。用真空炉熔化金属有助于去除杂质。适用于钨、钼、钽、铌、钛等高品质、高纯度难熔金属的熔炼和加热，耐热合金钢和磁性材料、高强度钢、不锈钢、工具钢、电工材料、热处理模具钢等。真空炉用途：主要用于石英真空脱羟基工艺。

真空炉通常由炉体、电加热装置、密封炉壳、真空系统、电源系统和温度控制系统组成。密封炉壳通常由碳钢或不锈钢制成，可拆卸部件的接合面采用真空密封。为了防止炉壳受热变形和密封材料受热，通常采用水或空气冷却炉壳。炉子位于密封的炉壳内。根据炉子的用途，炉子内有不同类型的加热元件，如电阻、感应线圈、电极和电子枪。熔炼金属的真空炉内装有坩埚， 真空系统 主要由 真空泵、 真空阀 和 真空计组成。真空炉修好后，需要对真空炉进行抽真空。真空炉的绝缘可以在真空炉前用1000V表检测。真空炉烘箱三阶段：喷水期O～200℃，是真空炉保温层中的水分和真空炉喷炉中的水分，必须检查真空炉的真空度，保温一次同时很长时间。真空炉排风量大的温区一般在500左右，因为真空炉的风量比较大，温升不超过50度/h。保温时间一般在60分钟以上，保温时间在1200左右。加热温度升高100~200度。

真空炉特点：

1.合理空间模块化标准设计

2.双冷水炉，优质材料，设备整体达到电子洁净水平

3.方形/圆形加热室设计，金属反光屏（钨钼），360度辐射加热

4.高真空干式真空机组，彻底解决加热室和真空室污染

5.外部热交换循环系统，提高生产效率

真空炉外 的关键设备是金卤灯玻璃。在计算功率的基础上，对加热器的设计和计算进行了分析。还讨论了真空系统和快速冷却系统的设计思路。结合现代CAD技术，3D建模可以大大提高设计效率，保证设计一次成功率。通过实际测试，可以满足所有的设计要求，完全满足玻璃脱羟基工艺的要求。玻璃的优异光谱特性，从短波紫外、可见光到红外范围内的宽波段具有极佳的透明度，同时耐高温（温度可达1100℃），线膨胀系数大，化学稳定性高；玻璃加入铈、钛等元素制成的电光源，可过滤危害人体健康的短波紫外线；用玻璃制成的激光器可以使激光器的寿命大大延长。玻璃具有许多优良的光学性能，是新型电光源的材料。随着电灯行业需求的不断增加，对高品质石英玻璃的需求量也越来越大。