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真空炉热调试注意事项真空炉热调试注意事项 1)当烤箱的真空度不小于13.3 pa时,在烤箱温度缓慢升至1300°C的整个过程中,烤箱的真空度应不小于13.3 PA。完全烘烤和脱气后,压力升高率可以达到技术要求。 2)极限真空度:不小于6 x 1.0-4Pa。 3)工作真空度:不小于2.7Pa(在1000炉膛下)。 4)升压速率测量:将真空炉加热到1200℃,充分烘烤并脱气后,将炉温冷却至100℃以下,升压速率应达到0.5Pa / h。 5)充气体调试:当冷却室的真空度为1.33Pa时,关闭真空隔热层和冷却室的真空阀,立即向冷却室真空炉内充入0.06MPa的氮气,时间应为2.5 (秒),并且加热室的真空度不得小于670Pa。 上一篇真空炉气体沉积下一篇真空炉怎么进行热量转化 |